Magnetoresistives Sensorelement für ein Fahrzeug, wobei das magnetoresistive Sensorelement derart ausgebildet und in dem Fahrzeug anbringbar ist, dass es ein von einem drehbaren Teil des Fahrzeuges abhängiges Magnetfeld erfasst und in ein elektrisches Signal umwandelt, und umfasst:mehrere Lagen einer magnetischen Schicht (2a) und einer nicht-magnetischen Schicht (2b), die alternierend übereinander angeordnet sind, sowie ein Substrat (1) und eine Pufferschicht (3); wobei(a) die magnetischen Schichten (2a) hauptsächlich Ni, Fe und Co in einer Zusammensetzung gemäß folgender Formelenthalten, worin x und y folgende Bedingung erfüllen:x ≥ 0,7; y ≤ 0,3; (1-x-y) ≤ 0,15;und die Dicke tm der magnetischen Schichten (2a), gemessen in Nanometern, jeweils folgende Bedingung erfüllt:1,0 < tm < 2,1;und(b) die nicht-magnetischen Schichten (2b) hauptsächlich Cu und ein weiteres Element A in einer Zusammensetzung gemäß folgender Formelenthalten, worin z folgende Bedingung erfüllt:z ≥ 0,9;und die Dicke tn der nicht-magnetischen Schichten (2b), gemessen in Nanometern, jeweils folgende Bedingung erfüllt:1,0 < tn < 8,0;wobei die Pufferschicht (3)zwischen dem Substrat (1) und der dem Substrat (1) am nächsten angeordneten magnetischen Schicht (2a) oder zwischen dem Substrat (1) und der dem Substrat (1) am nächsten angeordneten nicht-magnetischen Schicht (2b) angeordnet ist, undeine Dicke (tb) aufweist, die, gemessen in Nanometern, folgende Bedingung erfüllt:1,0 < tb < 8,0;wobei das magnetoresistive Sensorelement einer Wärmebehandlung bei mindestens 200°C unterzogen wurde, so dass die Eigenschaften des Sensorelements stabilisiert werden.

    A vehicle-mounted magnetoresistive sensor element includes plural plies of a magnetic layer and plural plies of a nonmagnetic layer, the magnetic layer and the nonmagnetic layer are alternately laminated with each other, the magnetic layer mainly contains Ni, Fe and Co, and the nonmagnetic layer mainly contains Cu, in which the magnetic layer has a composition represented by the following formula: Ni(1-x-y)FeyCox, where x and y satisfy the following conditions: x>=0.7, y<=0.3 and (1-x-y)<=0.15, the nonmagnetic layer has a composition represented by the following formula: CuzAl(1-z), where A is an additional element other than Cu, and z>=0.9; the thickness tm (angstrom) of the magnetic layer and the thickness tn (angstrom) of the nonmagnetic layer satisfy the following conditions: 10


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    Title :

    Fahrzeugmontiertes Magnetoresistenz-Sensorelement und Verfahren zur Herstellung


    Contributors:

    Publication date :

    2020-06-10


    Type of media :

    Patent


    Type of material :

    Electronic Resource


    Language :

    German


    Classification :

    IPC:    H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B60K Anordnung oder Einbau von Antriebseinheiten oder von Kraft- bzw. Drehmomentübertragungen in Fahrzeugen , ARRANGEMENT OR MOUNTING OF PROPULSION UNITS OR OF TRANSMISSIONS IN VEHICLES / B82Y Bestimmter Gebrauch oder bestimmte Anwendung von Nanostrukturen , SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES / G01R Messen elektrischer Größen , MEASURING ELECTRIC VARIABLES / G11B Informationsspeicherung mit Relativbewegung zwischen Aufzeichnungsträger und Wandler , INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER / H01F MAGNETS , Magnete



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