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    Title :

    Eigenspannungen in der Duennschichttechnik


    Additional title:

    Intrinsic stresses in thinlayer technology.



    Published in:

    Publication date :

    1994


    Size :

    6 pages


    Remarks:

    Met.-Oberflaeche;48(1994)7;502-507


    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    German



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