Daempfungssimulation bei aktiv geregelten Komponenten in der Halbleiterindustrie
Damping simulation at active controlled components in semiconductor industry.
2015
12 pages
VDI-Ber.; 2015;3.VDI Fachtagung Schwingungsdaempfung (Leonberg September 2015);VDI-Berichte;Nr.;2261
Miscellaneous
German
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