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    Title :

    Plasmachemisches Trockenätzen von Solarwafern mit Atmosphärendruck-Plasmen


    Contributors:


    Edition :

    1. Aufl.


    Publication date :

    2014


    Size :

    174 S.


    Remarks:

    210 mm x 148 mm, 261 g
    Digital preservation by Sächsische Landesbibliothek - Staats- und Universitätsbibliothek Dresden



    Type of media :

    Theses


    Type of material :

    Print


    Language :

    German



    Classification :

    BKL:    53.56 Halbleitertechnologie / 58.99 Chemische Technik: Sonstiges / 53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher
    DDC:    681.76
    RVK:    ZL 7660



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