Beschichtung von flexiblen Substraten mit a-Silizium-pin-Solarzellen mittels einer VHF-PECVD-Durchlaufanlage : Bearbeitungszeitraum: 01.10.2006 - 31.03.2010
2010
Online-Ressource (93 S., 2,62 MB)
Ill., graph. Darst.
Förderkennzeichen BMU 0329563E
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