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    Title :

    Beschichtung von flexiblen Substraten mit a-Silizium-pin-Solarzellen mittels einer VHF-PECVD-Durchlaufanlage : Bearichtszeitraum: 01.10.2006 - 31.03.2010



    Publication date :

    2010


    Size :

    90 S.


    Remarks:

    Ill., graph. Darst.
    Förderkennzeichen BMU 0329563E
    Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden. - Auch als elektronische Ressource vorh.


    Type of media :

    Report


    Type of material :

    Print


    Language :

    German


    Classification :

    BKL:    52.78 Oberflächentechnik, Wärmebehandlung / 33.68 Oberflächen, Dünne Schichten, Grenzflächen / 53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher



    Beschichtung von flexiblen Substraten mit a-Silizium-pin-Solarzellen mittels einer VHF-PECVD-Durchlaufanlage : Bearbeitungszeitraum: 01.10.2006 - 31.03.2010

    Technische Universität Dresden, Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik | TIBKAT | 2010

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