Integrierte Defektanalyse und Formerkennung für die 3D-Mikroaufbau- und Verbindungstechnik : Teilvorhaben 16SV1930 im Rahmen des Verbundprojektes MST Hybrid: "Mess- und Prüftechnik für den Test von hybrid montierten Siliziummikrosystemen für die Automobil- und Medizintechnik" ; Abschlussbericht
2007
Online-Ressource (20 S., 4,80 MB)
Ill., graph. Darst.
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