Forschungsverbundprojekt "Entwurf und Modellierung von Antriebssystemen für die Mikrosystemtechnik" - MODAN - www.modan.org : Abschlussbericht des Teilprojektes "Modulare Präzisionsantriebe für MEMS und Laseranlagen" der TETRA GmbH ; Laufzeit: 01.04.2002 - 31.03.2005
MODAN
Entwurf und Modellierung von Antriebssystemen für die Mikrosystemtechnik" - MODAN
Abschlußbericht zum Projekt MODAN
2005
Online-Ressource (18 S., 926 KB)
Ill., graph. Darst.
Förderkennzeichen BMBF 16SV1548. - Literaturverz.
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Auch als gedr. Ausg. vorhanden
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