Abscheidung und Analyse von organischen Dünnschichten mit eingelagerten Metallclustern
1996
105 S
graph. Darst
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Theses
German
Piezoelektrische Aluminiumnitrid-Dünnschichten für mikroelektromechanische Systeme
TIBKAT | 2016
|Piezoelektrische Aluminiumnitrid-Dünnschichten für mikroelektromechanische Systeme
BASE | 2016
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