Herstellung von Kristallen und Wafern in einer Industrie 4.0 Umgebung : Abschlussbericht : Laufzeit des Vorhabens: 01.07.2018 bis 31.12.2021
2022
1 Online-Ressource (99 Seiten, 9,32 MB)
Illustrationen, Diagramme
Förderkennzeichen BMWK 0324281A
Verbundnummer 01183180
Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek
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