Präzisionsantriebe für den Mikrometer- und Submikrometerbereich : zusammenfassende Darstellung der Forschungsergebnisse zum Thema [Berichtszeitraum: 1.1.1991 - 31.12.1991] / Themenleiter: Budig ; Teil 2
1991
S. 149-178
Anlagen
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Book
German
Präzisionsbetrieb für den Mikrometer- und Submikrometerbereich
TIBKAT | 1993
|ELEKTROMOTOREN - Präzisionsantriebe für die Halbleiterfertigung
Online Contents | 2000
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