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    Title :

    Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren


    Contributors:

    Published in:

    KfK ; 5088


    Edition :

    Als Ms. gedr


    Publication date :

    1992


    Size :

    83 S


    Remarks:

    Ill., graph. Darst


    Type of media :

    Theses


    Type of material :

    Print


    Language :

    German


    Classification :

    RVK:    ZN 8270 / ZN 4980
    BKL:    53.56 Halbleitertechnologie / 53.33 Elektrische Maschinen und Antriebe