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    Title :

    Caratterizzazione di film sottili in TiN mediante GDOES e XPS



    Conference:

    Convegno nazionale; 26, Associazione Italiana di Metallurgia ; 1996 ; Milan; Italy



    Publication date :

    1996-01-01


    Size :

    8 pages


    Remarks:

    Text in Italian or English, summaries in Italian



    Type of media :

    Conference paper


    Type of material :

    Print


    Language :

    Italian


    Keywords :


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