Es wird das Design-Konzept, der Herstellungsprozeß und die experimentellen Eigenschaften eines piezo-resistiven Beschleunigungsaufnehmers beschrieben. Das Hauptanwendungsgebiet liegt auf dem KFZ-Sektor. Der Sensor besteht aus drei Siliciumebenen, die das signalaufnehmende Masse-Feder-System mit einer Piezo-Widerstandsbrücke aufnehmen. Die Deckscheibe dient zur Einstellung der Dämpfung und ist gleichzeitig ein Überlastschutz. Die realisierbaren Meßbereiche liegen zwischen 2 g und 50 g. Die Temperaturdrift ist systematisch korregierbar. Theoretische Aspekte und die experimentellen Ergebnisse werden erläutert.


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    Titel :

    Piezoresistive silicon accelerometer for automotive applications


    Weitere Titelangaben:

    Piezoresistive Silizium-Beschleunigungsaufnehmer für Kfz-Anwendungen


    Beteiligte:
    Seidel, H. (Autor:in) / Fritsch, U. (Autor:in) / Gottinger, R. (Autor:in) / Schuster, G. (Autor:in) / Nothelfer, U. (Autor:in) / Riedel, H. (Autor:in) / Kupke, W. (Autor:in) / Voß, R. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    1993


    Format / Umfang :

    8 Seiten, 5 Bilder, 1 Tabelle, 13 Quellen


    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    A piezoresistive silicon accelerometer with monolithically integrated CMOS-circuitry

    Seidel, H. / Fritsch, U. / Gottinger, R. et al. | Tema Archiv | 1995


    ISAAC - integrated silicon automotive accelerometer

    Spangler, L. / Kemp, C.J. | Tema Archiv | 1995


    ISAAC: integrated silicon automotive accelerometer

    Spangler, L.C. / Kemp, C.J. | Tema Archiv | 1996



    Piezoresistive acceleration sensor for automotive applications

    Tsugai, M. / Bessho, M. / Araki, T. et al. | Tema Archiv | 1992