Dieser Beitrag präsentiert aktuelle Entwicklungen in der Silizium-basierten optischen Sensortechnik. Fortschritte auf diesem Gebiet ermöglichen nun die Integration photonischer und elektronische Komponenten auf einem einzigen Silizium-Chip. Dies führt zu kompakten Sensoren mit hoher Funktionalität, die sich auf einer Einweg-Plattform bei niedrigen Fertigungskosten realisieren lassen. Zwei Beispiele illustrieren den gegenwärtigen Entwicklungsstand für biomedizinische Anwendungen.
Silizium-Photonik für eine neue Generation integrierter biomedizinischer Messgeräte
Photonik ; 45 , 1 ; 46-48
2013
53 Seiten, 4 Tabellen
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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