A high-sensitivity torsional silicon accelerometer for automotive air bag systems has been developed using wet etching of single crystal silicon and a silicon-glass bonding technique. The fabricated accelerometer yields a sensitivity of 100 mV/G, and a nonlinearity of 1.13% over a range of -22 G to 22 G. The minimum detectable acceleration measured by the readout electronics is 25 mG.


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    Titel :

    High performance torsional silicon accelerometer for automotive air bags


    Beteiligte:
    Seok, Seonho (Autor:in) / Lee, Byeungleul (Autor:in) / Chun, Kulkjin (Autor:in)

    Erschienen in:

    Electronics Letters ; 38 , 23 ; 1435-1437


    Erscheinungsdatum :

    2002


    Format / Umfang :

    3 Seiten, 4 Quellen




    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




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