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    Titel :

    Silicon-based thin-film solar cells fabricated near the phase boundary by VHF PECVD technique



    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    2008



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Klassifikation :

    BKL:    50.70 Energie: Allgemeines / 52.56 Regenerative Energieformen, alternative Energieformen / 52.52 Thermische Energieerzeugung, Wärmetechnik / 53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher





    Codoped silica-on-silicon waveguides fabricated by PECVD technique [2954-16]

    Fiorello, A. M. / Giannetta, E. / Valentino, M. et al. | British Library Conference Proceedings | 1996



    Variable MEMS-Based Inductors Fabricated from PECVD Silicon Nitride

    Dell, J. M. / Winchester, K. / Musca, C. A. et al. | British Library Conference Proceedings | 2002