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    Titel :

    Study of an argon-hydrogen RF inductive thermal plasma torch used for silicon deposition by optical emission spectroscopy



    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    2002



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Klassifikation :

    BKL:    50.70 Energie: Allgemeines / 52.56 Regenerative Energieformen, alternative Energieformen / 52.52 Thermische Energieerzeugung, Wärmetechnik / 53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher






    Hydrogen-oxygen Torch Ignitor

    Repas, George A. | NTRS | 1994


    Hydrogen-Air Ignition Torch

    G. A. Repas | NTIS | 1986