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    Titel :

    Magnetron Plasma Etching of SiC for Microfabrication


    Erschienen in:

    NASA tech briefs ; 22 , 5 ; 88-91


    Erscheinungsdatum :

    1998



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    BKL:    50.00 Technik allgemein: Allgemeines / 50.00 / 55.60 Raumfahrttechnik / 55.60




    Magnetron plasma etching of SiC for microstructures [2686-10]

    Beheim, G. / Salupo, C. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 1996


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    The pickup of ion beam etching depth information during microfabrication [5253-103]

    Zhao, G. / Wang, Y. / SPIE - The International Society for Optical Engineering | British Library Conference Proceedings | 2003


    Polymer microfabrication technologies

    Rotting, O. / Ropke, W. / Becker, H. et al. | British Library Online Contents | 2002