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    Titel :

    Unreleased polysilicon beam failure. MEMS Reliability Alliance Technical Report 37-01


    Beteiligte:
    Lawton, R. (Autor:in) / Lin, G. (Autor:in) / Wellman, J. (Autor:in)

    Erscheinungsdatum :

    04.08.2000


    Medientyp :

    Preprint


    Format :

    Keine Angabe


    Sprache :

    Englisch





    Reliability Testing of Polysilicon for MEMS Devices

    La Van, D. / Buchheit, T. / Aerospace Corporation | British Library Conference Proceedings | 1999


    UNRELEASED HAND BRAKE DETECTION UNIT AND RAILROAD CAR INCLUDING THE SAME

    SATO YOSHI / SEKIYA TAKAO / KUWASHIRO SHINGO | Europäisches Patentamt | 2019

    Freier Zugriff

    Composite Metal-Polysilicon MEMS Actuators for Flow Control

    Bons, J. P. / Franke, M. E. / Borgeson, D. M. et al. | British Library Conference Proceedings | 2003


    Composite Metal-Polysilicon MEMS Actuators for Flow Control

    Bons, Jeffrey / Franke, Milton / Borgeson, David et al. | AIAA | 2003