Technique shows promise for fabrication of novel electronic, optoelectronic, and electro-optical devices. Experiments demonstrated feasibility of growing microscopic single-crystal CoSi2 structures beneath surfaces of Si substrates.


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    Titel :

    Subsurface Growth Of Silicide Structures In Silicon


    Beteiligte:

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    1993-11-01



    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Keine Angabe


    Sprache :

    Englisch


    Schlagwörter :



    Growing Cobalt Silicide Columns In Silicon

    Fathauer, Obert W. | NTRS | 1991




    Self-organized iron silicide nano dots on silicon (001) substrate

    Chou, L. J. / Chuen, Y. L. / Guo li Taiwan da xue et al. | British Library Conference Proceedings | 2003