Large silicon particles result from controlled pyrolysis of silane. Mixture of 1 percent silane in nitrogen pyrolyzed at 300 degrees C to generate aerosol of silicon seed particles.


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    Titel :

    Silane Pyrolysis With Silicon-Seed Aerosol


    Beteiligte:
    Flagan, R. C. (Autor:in) / Alam, M. K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.11.1984



    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Keine Angabe


    Sprache :

    Englisch


    Schlagwörter :


    High-Purity Silicon Seeds for Silane Pyrolysis

    Hsu, G. C. / Rohatgi, N. K. / Morrison, A. | NTRS | 1985




    Silicon sheet from silane: first results

    Rodrigues Pinto, C. | Online Contents | 2002


    Chemical-vapor deposition of silicon from silane

    Hsu, G. C. / Lutwack, R. / Praturi, A. K. | NTRS | 1979