Improved hollow cathode for neutral-beam injector ion sources rapidly started by dielectric breakdown of ignitor plug located at one end of open ended tube. Used in low-current ion implantation, milling, sputtering, and bombardment for surface treatment.


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    Titel :

    Improved Hollow Cathode


    Beteiligte:
    Aston, G. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    1984-11-01



    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Keine Angabe


    Sprache :

    Englisch


    Schlagwörter :



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