Layer of TiO2, economically deposited during integrated circuit fabrication, allows "nonpattern" metal to be removed cleanly.


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    Titel :

    Lift-off procedure improves pattern definition


    Beteiligte:
    Hovel, H. J. (Autor:in) / Huggins, H. A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.12.1979



    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Keine Angabe


    Sprache :

    Englisch


    Schlagwörter :


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