Two instrumentation systems are used to measure scatter angle: intensity scatterometer makes small angle measurements on order of 10 arc-minutes; amplitude scatterometer, which uses interferometric principle, measures smaller angles on order of 10 arc-seconds. Both scatterometers use laser sources and can measure into ultraviolet (0.325 micron) wavelengths.


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    Titel :

    Measuring scatter angle from mirrors


    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    1977-01-01



    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Keine Angabe


    Sprache :

    Englisch


    Schlagwörter :