In the article are represented the analysis of existent methods of nanolithography on the example of nanoimprinting, features of technological processes with the use of nanoimprinting, advantages and lacks of different methods and direction of their application are appraised.


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    Titel :

    Nanolithography ߝ nanoimprinting


    Beteiligte:
    Nevludov, I.Sh. (Autor:in) / Palagin, V.A. (Autor:in) / Frizuk, E.A. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    01.06.2007


    Format / Umfang :

    4860383 byte




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



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