A novel profilometry using a frequency comb light source is proposed. This method realizes step height measurement without mechanical scanning. We have confirmed the system with high accuracy with this method.


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    Titel :

    A Novel Profilometry Using Frequency Comb Light Source


    Beteiligte:
    Choi, S. (Autor:in) / Yamamoto, M. (Autor:in) / Moteki, D. (Autor:in) / Shioda, T. (Autor:in) / Tanaka, Y. (Autor:in) / Takeda, M. (Autor:in) / Kurokawa, T. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    348951 byte




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



    Profilometry using a frequency-shifted feedback laser

    Ndiaye, C. / Hara, T. / Ito, H. | IEEE | 2005


    Profilometry Using a Frequency-Shifted Feedback Laser

    Ndiaye, C. | British Library Conference Proceedings | 2005


    Radial Profilometry

    Gilbert, J. A. / Greguss, P. / Matthys, D. R. | NTRS | 1990


    Profilometry by white light autocorrelation function sampling [2004-40]

    Sandoz, P. / SPIE / Society for Experimental Mechanics | British Library Conference Proceedings | 1994