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    Titel :

    High Repetition Rate Excimer Laser Directly Pumped by a Sliding Discharge


    Beteiligte:
    Bashkin, V.K. (Autor:in) / Treshchalov, A.B. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1998


    Format / Umfang :

    91587 byte




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch




    5 kHz high repetition rate excimer laser

    Takagi, S. / Kakizaki, K. / Okamoto, N. et al. | IEEE | 1995


    High repetition rate KrF excimer laser for microphotolithography

    Kakuno, T. / Enami, T. / Kakizaki, K. | IEEE | 1995


    High-repetition-rate excimer laser for micromachining [4971-16]

    Herbst, L. / Klaft, I. / Wenzel, T. et al. | British Library Conference Proceedings | 2003


    Discharge pumped VUV rare-gas excimer laser

    Kubodera, S. / Higashiguchi, T. / Sasaki, W. | IEEE | 2002