This paper presents SF6/O2plasma lens-mold-etching and low-temperature-molding to produce 100% coverage microlens arrays. The methods can successfully fabricate microlenses with different focal lengths (432.7-826.5μm) on a substrate in batch processes.


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    Titel :

    Low Temperature Molding for High Space Coverage Microlens Arrays


    Beteiligte:
    Wang, K. (Autor:in) / Bohringer, K.F. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    245459 byte




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



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