Interference between 20 ns 193 nm ArF laser beams is used for the fabrication of blazed gratings on Cyclotene (BCB, Dow) polymer films. The grating shape is tuned for almost complete power diffraction into the 1/sup st/ order.


    Zugriff

    Zugriff prüfen

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Direct laser fabrication of blazed diffraction gratings on polymer films


    Beteiligte:
    Hutchinson, G. (Autor:in) / Leng, Y. (Autor:in) / Yun, V. (Autor:in) / Du, M. (Autor:in) / Lucas, L. (Autor:in) / Lee, C.H. (Autor:in) / Herman, W.N. (Autor:in) / Goldhar, J. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    2004-01-01


    Format / Umfang :

    245937 byte



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch




    Fabrication of Silicon-Blazed Gratings for Couplers

    Ang, T. W. / Reed, G. T. / Evans, A. G. R. et al. | British Library Online Contents | 2000


    Micromachined Tunable Blazed Gratings

    Li, X. / Belikov, R. / Yu, K. et al. | British Library Conference Proceedings | 2004


    Hologram blazed diffraction gratings for a wide spectral range [3317-26]

    Lukin, A. V. / Makarov, A. S. / Sattarov, F. A. et al. | British Library Conference Proceedings | 1997


    DTuD3 Optimization of electron beam dosages in direct-writing e-beam lithography for blazed diffraction gratings

    Kikuta, H. / Hirai, Y. / Okano, M. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000