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    Titel :

    Evaluation of complex optical constants of semiconductor wafers using terahertz ellipsometry


    Beteiligte:
    Nagashima, T. (Autor:in) / Hangyo, M. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    2003-01-01


    Format / Umfang :

    127229 byte



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch




    Measurement of Complex Optical Constant Using Terahertz Ellipsometry

    Nagashima, T. / Hangyo, M. | British Library Conference Proceedings | 2002



    Optical metrology of semiconductor wafers in lithography

    den Boef,A.J. / ASML,Veldhoven,NL | Kraftfahrwesen | 2012