A diaphragm for a piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT) is presented having resonance frequency and bandwidth characteristics which are decoupled from one another into independent variables. Portions of at least the piezoelectric material layer and backside electrode layer are removed in a selected pattern to form structures, such as ribs, in the diaphragm which retains stiffness while reducing overall mass. The patterned structure can be formed by additive, or subtractive, fabrication processes.
L'invention concerne un diaphragme pour un transducteur ultrasonore micro-usiné piézoélectrique qui présente des caractéristiques de fréquence de résonance et de bande passante qui sont découplées les unes par rapport aux autres en variables indépendantes. Des parties d'au moins la couche de matériau piézoélectrique et de la couche d'électrode arrière sont retirées selon un motif sélectionné de manière à former des structures, telles que des nervures, dans le diaphragme qui garde une certaine rigidité tout en ayant une masse globale réduite. La structure à motifs peut être formée par des procédés de fabrication additive ou soustractive.
VARIABLE THICKNESS DIAPHRAGM FOR A WIDEBAND ROBUST PIEZOELECTRIC MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCER (PMUT)
DIAPHRAGME D'ÉPAISSEUR VARIABLE POUR UN TRANSDUCTEUR ULTRASONORE MICRO-USINÉ PIÉZOÉLECTRIQUE ROBUSTE À LARGE BANDE
2015-09-03
Patent
Elektronische Ressource
Englisch
IPC: | B60B VEHICLE WHEELS , Räder für Fahrzeuge |
ELECTRICAL CROSSTALK REDUCTION FOR A CAPACITIVE MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCER ARRAY
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|Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer Based Gas Sensor Modeling and Simulation
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