A purpose of the present invention is to provide a processing device capable of suppressing drop-off of a workpiece when a cassette is raised and lowered. The processing device comprises: a chuck table for holding a workpiece; a cutting unit for processing the workpiece held on the chuck table; a cassette arrangement area in which a cassette is arranged; a conveying unit which conveys the workpiece between the cassette arranged in the cassette arrangement area and the chuck table; and a surrounding wall configured to partition a route for raising and lowering the cassette from an external space in a space immediately above the cassette arrangement area. A height of the surrounding wall is greater than or equal to a height of a ceiling wall of the processing device and is a height that does not interfere with a cassette held by a traveling conveying vehicle.

    본 발명은 카세트의 승강 시에 피가공물의 탈락을 억제할 수 있는 가공 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 가공 장치는, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 척 테이블에 유지된 피가공물을 가공하는 절삭 유닛과, 카세트가 배치되는 카세트 배치 영역과, 카세트 배치 영역에 배치된 카세트와 척 테이블 사이에서 피가공물을 반송하는 반송 유닛과, 카세트 배치 영역 바로 위의 공간에서, 카세트가 승강하는 경로를 외부의 공간으로부터 구획하는 포위벽을 포함하고, 포위벽의 높이는, 가공 장치의 천장벽의 높이 이상이고, 주행하는 반송차가 유지하는 카세트에 간섭하지 않는 높이이다.


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    Titel :

    MACHINING APPARATUS


    Weitere Titelangaben:

    가공 장치


    Beteiligte:
    MITANI SHUZO (Autor:in)

    Erscheinungsdatum :

    2021-06-11


    Medientyp :

    Patent


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Koreanisch


    Klassifikation :

    IPC:    H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B66C Krane , CRANES



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