PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric actuator capable of continuing to operate on the whole even if a piezoelectric member short-circuits.SOLUTION: A piezoelectric actuator 13 has: zigzag beam parts 130a, b formed by connecting a plurality of piezoelectric drive parts at a fold-back part 205; a piezoelectric part 202 arranged at the respective piezoelectric drive parts; an upper electrode 203 and a lower electrode 201 formed to hold the piezoelectric parts 202 therebetween; and a wiring part 151 connected to at least one of the upper electrode 203 and lower electrode 201. The wiring part 151 at least has a first pattern 151a and a second pattern 151b as wiring patterns which are independent of each other so as to apply voltages to two mutually adjacent piezoelectric parts of the piezoelectric drive parts, respectively, and the first pattern 151a and second pattern 151b comprise branch parts 155a, b branching off at halfway parts 158a, b, and electrode connection parts 156a, b branched by the branch parts 155a, b to be each connected to one of the upper electrode 203 and lower electrode 201.SELECTED DRAWING: Figure 12

    【課題】圧電部材が短絡しても圧電アクチュエータ全体としては動作を継続可能な圧電アクチュエータの提供。【解決手段】複数の圧電駆動部が折り返し部205で連結されることで形成された蛇行状梁部130a、bと、圧電駆動部のそれぞれに配置された圧電部202と、圧電部202を挟み込むように形成された上部電極203と下部電極201と、上部電極203あるいは下部電極201の少なくとも何れか一方に接続される配線部151と、を有し、配線部151は、圧電駆動部のうち互いに隣り合う2つの圧電駆動部に、それぞれ電圧を印加するための互いに独立した配線パターンである第1パターン151aと第2パターン151bと、を少なくとも有し、第1パターン151aと第2パターン151bとは、いずれも中途部158a、bにおいて分岐する分岐部155a、bと、分岐部155a、bによって分岐されて上部電極203または下部電極201の何れか一方に接続される電極接続部156a、bと、を備える圧電アクチュエータ13。【選択図】図12


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    Titel :

    PIEZOELECTRIC ACTUATOR, OPTICAL DEFLECTOR, OPTICAL SCANNER, IMAGE PROJECTION APPARATUS, AND MOVING BODY


    Weitere Titelangaben:

    圧電アクチュエータ、光偏向器、光走査装置、画像投影装置および移動体


    Beteiligte:

    Erscheinungsdatum :

    2018-02-15


    Medientyp :

    Patent


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Japanisch


    Klassifikation :

    IPC:    G02B Optische Elemente, Systeme oder Geräte , OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS / B60K Anordnung oder Einbau von Antriebseinheiten oder von Kraft- bzw. Drehmomentübertragungen in Fahrzeugen , ARRANGEMENT OR MOUNTING OF PROPULSION UNITS OR OF TRANSMISSIONS IN VEHICLES / B60R Fahrzeuge, Fahrzeugausstattung oder Fahrzeugteile, soweit nicht anderweitig vorgesehen , VEHICLES, VEHICLE FITTINGS, OR VEHICLE PARTS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR / B81B Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente , MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES / G09G Anordnungen oder Schaltungen zur Steuerung oder Regelung von Anzeigevorrichtungen mit statischen Mitteln zur Darstellung veränderlicher Informationen , ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION / H02N Elektrische Maschinen, soweit nicht anderweitig vorgesehen , ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR



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