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    Titel :

    A precision yaw rate sensor in silicon micromachining


    Weitere Titelangaben:

    Ein feinstbearbeiteter Praezisions-Gierwinkelsensor.


    Beteiligte:

    Erscheinungsdatum :

    1998


    Format / Umfang :

    5 pages


    Anmerkungen:

    SAE-Paper;980267;1998;Sensors and Actuators 1998;SAE Spec.Publ.; SP-1312


    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    A Precision Yaw Rate Sensor in Silicon Micromachining

    Maihöfer, B. / Schubert, D. / Gerstenmeier, J. et al. | SAE Technical Papers | 1998


    A Precision Yaw Rate Sensor in Silicon Micromachining

    Lutz, M. / Golderer, W. / Gerstenmeier, J. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998


    Yaw Rate Sensor in Silicon Micromachining Technology for Automotive Applications

    Golderer, W. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998


    Side airbag sensor in silicon micromachining

    Ullmann,D. / Bischopink,G. / Schoefthaler,M. et al. | Kraftfahrwesen | 1999


    Side Airbag Sensor in Silicon Micromachining

    Ullmann, D. / Bischopink, G. / Schoefthaler, M. et al. | British Library Conference Proceedings | 1999