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    Titel :

    Schichtdickenmessung:Erhoehte Genauigkeit durch programmierbare Sensoren


    Weitere Titelangaben:

    Measurement of layer thickness:Increased accuracy obtained by programmable probes.


    Beteiligte:

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    1993


    Format / Umfang :

    5 pages


    Anmerkungen:

    Met.-Oberflaeche;47(1993)3;113-117


    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch



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