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    Titel :

    Static and dynamic instabilities of electrostatic actuated MEMS devices


    Weitere Titelangaben:

    Statische und dynamische Instabilitaeten elektrostatisch betaetigter MEMS Bauteile.



    Erscheinungsdatum :

    2008


    Format / Umfang :

    16 pages


    Anmerkungen:

    SAE-Paper;2008-01-0915;2008;Vehicle Sensors and Actuators, 2008;SAE Spec.Publ.; SP-2191


    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Static and Dynamic Instabilities of Electrostatic Actuated MEMS Devices

    Beloiu, Dumitru M. | SAE Technical Papers | 2008


    2008-01-0915 Static and Dynamic Instabilities of Electrostatic Actuated MEMS Devices

    Beloiu, D.M. | British Library Conference Proceedings | 2008


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