Automobil-MST-Hybrid im Rahmen MST-Hybrid : Teilvorhaben ; BMBF-Förderprogramm Mikrosystemtechnik ; Abschlussbericht ; Laufzeit des Vorhabens 1.1.2005- 31.12.2007 ; [Mess- und Prüftechnik für den Test hybrid montierter Siliziummikrosysteme für Anwendungen im Automobil]
Automotive Hybrid-MST: Metrology for the test of hybrid mounted silicon microsystems for automotive applications
2007
45 Bl.
Ill., graph. Darst.
Förderkennzeichen BMBF 16SV1932. - Verbund-Nr. 01034546. - Engl. Zsfassung u.d.T: Automotive Hybrid-MST: Metrology for the test of hybrid mounted silicon microsystems for automotive applications
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Auch als elektronische Ressource vorh.
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