Mess- und Prüftechnik für den Test von hybrid montierten Siliziummikrosystemen für die Automobil- und Medizintechnik (MST-Hybrid) : Verbundvorhaben: V3MPT041, Teilprojekt: 3D-Laser-Mikromesssysteme ; Berichtszeitraum: 01.01.2005 bis 31.12.2007 ; Abschlussbericht
2007
Online-Ressource (23 S., 4,09 MB)
Ill., graph. Darst.
Förderkennzeichen BMBF 16SV1928. - Verbund-Nr. 01034546
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