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    Titel :

    Treibmittel-Vakuumpumpe in Mikrosystemtechnik


    Weitere Titelangaben:

    Treibmittel - Vakuumpumpe in Mikrosystemtechnik




    Ausgabe :

    1. Aufl.


    Erscheinungsdatum :

    2008


    Format / Umfang :

    VI, 149 S.


    Anmerkungen:

    Ill., graph. Darst.



    Medientyp :

    Hochschulschrift


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch



    Klassifikation :

    DDC:    621.691
    BKL:    52.38 Arbeitsmaschinen / 50.94 Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie



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