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    Titel :

    Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries : 30 - 31 July 2000, San Diego, USA



    Kongress:

    Conference ; 2000 ; San Diego, Calif. Conference (San Diego, Calif.) : 2000.07.30-31


    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    2000


    Format / Umfang :

    IX, 328 S



    Medientyp :

    Konferenzband


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Klassifikation :

    DDC:    621.381/045



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