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    Titel :

    Study and Optimization of Piezoelectric Materials for MEMS Biochemical Sensor Applications


    Beteiligte:
    Nagaraj, M. J. (Autor:in) / Shantha, V. (Autor:in) / Nishanth, N. (Autor:in) / Parthsarathy, V. (Autor:in)

    Kongress:

    AREEV ; 2020 ; Nitte



    Erscheinungsdatum :

    2022



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Klassifikation :

    BKL:    52.56 Regenerative Energieformen, alternative Energieformen / 55.20 Straßenfahrzeugtechnik



    Study and Optimization of Piezoelectric Materials for MEMS Biochemical Sensor Applications

    Nagaraj, M. J. / Shantha, V. / Nishanth, N. et al. | Springer Verlag | 2021


    Flexible Aluminium Nitride/Polyimide piezoelectric material for MEMS applications

    Jackson, Nathan / Keeney, Lynette / Mathewson, Alan | TIBKAT | 2013

    Freier Zugriff

    A FLUSH-MOUNT, IEPE MEMS PIEZOELECTRIC MICROPHONE FOR AEROACOUSTIC APPLICATIONS

    Mills, David A. / Patterson, William / Underbrink, James R. et al. | TIBKAT | 2021


    A Flush-Mount, IEPE MEMS Piezoelectric Microphone for Aeroacoustic Applications

    Mills, David A. / Patterson, William / Underbrink, James R. et al. | AIAA | 2021