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    Titel :

    A novel method to reduce the period limitation in laser interference lithography


    Beteiligte:
    Dai, L. (Autor:in) / Xuan, M. (Autor:in) / Ding, P. (Autor:in) / Jiang, Y. (Autor:in) / Ma, Z. (Autor:in) / Jia, H. (Autor:in) / Wang, W. (Autor:in) / Zhou, J. (Autor:in) / Chen, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    2015-01-01


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    537.5



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