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    Titel :

    Fabrication and characterization of machined 3D diffractive optical elements


    Beteiligte:
    Kühne, S. (Autor:in) / Haskic, K. (Autor:in) / Lemke, S. (Autor:in) / Schmidt, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 10-11 ; 2103-2107


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Fabrication of diffractive optical elements using the CMOS process [4078-95]

    Chen, H. / Huang, H. / Yen, K. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


    Photomask fabrication of focusing diffractive optical elements using electron-beam lithography

    Babin, S. V. / Danilov, V. A. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 1995


    Advantages in THz diffractive optical elements

    Minin, I.V. / Minin, O.V. | IEEE | 2004


    Scalar Limitations of Diffractive Optical Elements

    Johnson, E. G. / Hochmuth, D. / Moharam, M. G. et al. | British Library Conference Proceedings | 1993