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    Titel :

    Infrared heated μ-blistering, a new fabrication technology for HARMST


    Beteiligte:
    Schmidt, T. (Autor:in) / Mueller, C. (Autor:in) / Reinecke, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 10-11 ; 2017-2022


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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