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    Titel :

    Electrothermal-driven gap adjustable MEMS comb structure: modeling and simulation of the equivalent circuit macromodel


    Beteiligte:
    Pu, X. (Autor:in) / Li, W. (Autor:in) / Zhou, Z. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 6 ; 1205-1212


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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