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    Titel :

    Polarization Scanning Ellipsometry Method for Measuring Effective Ellipsometric Parameters of Isotropic and Anisotropic Thin Films


    Beteiligte:
    Lo, Y.-L. (Autor:in) / Chung, Y.-F. (Autor:in) / Lin, H.-H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY ; 31 , 14 ; 2361,2369


    Erscheinungsdatum :

    2013-01-01


    Format / Umfang :

    2 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    621.3692



    An Approach for Measuring the Ellipsometric Parameters of Isotropic and Anisotropic Thin Films Using the Stokes Parameter Method

    Lo, Y.-L. / Hsieh, W.-H. / Chung, Y.-F. et al. | British Library Online Contents | 2012


    Measuring Unresolved Surface Features Using Imaging Ellipsometric Polarization Signatures

    Zhan, Q. / Leger, J. R. / Optical Society of America | British Library Conference Proceedings | 2002


    Fast-scanning ellipsometry for thin film characterization [4099-39]

    Berge, C. / Krasilnikova, A. / Masetti, E. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


    Force measuring sensor applying transmission ellipsometric principles

    Baetz, W. / Braasch, J. / Holzapfel, W. et al. | British Library Conference Proceedings | 1990