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    Titel :

    Fabrication of 3-D PTFE microstructures utilising change of etching rate with respect to exposure time


    Beteiligte:
    Horade, M. (Autor:in) / Sugiyama, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 19 , 3 ; 351-356


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2013


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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