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    Titel :

    Deposition property investigation of a focused ion beam for a high-aspect-ratio metal tip


    Beteiligte:
    Choi, D. K. (Autor:in) / Lee, S. H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 19 , 3 ; 363-370


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2013


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Controlling parameters of focused ion beam (FIB) on high aspect ratio micro holes milling

    Jamaludin, F. S. / Mohd Sabri, M. F. / Said, S. M. | British Library Online Contents | 2013


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