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    Titel :

    Calcium fluoride micro-optics improve DUV excimer laser systems


    Beteiligte:
    Wielsch, U. (Autor:in) / Kanzler, K. (Autor:in) / Lindsey, T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    LASER FOCUS WORLD ; 47 , 5 ; 89-93


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2011


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    621.366



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    British Library Online Contents | 1999


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    Masters, A. / Geuking, T. | British Library Online Contents | 2005


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    Hutfless, J. / Rebhan, T. / Lutz, N. et al. | British Library Online Contents | 1995


    Micro Optics for Efficient Material Processing with Excimer Lasers

    Hutfless, J. / Rebhan, T. / Lutz, N. et al. | British Library Online Contents | 1994


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    Webb, J. | British Library Online Contents | 2000